用途特點：
本產品適用于半導體特殊工藝加工，實驗室產品驗證等。該烘箱采用加熱循環方式，進行精確的溫度控制。
技術特點：
多用途的腔體結構，有效的工作溫度范圍 至+500°C；
腔體與外箱之間不僅有高效的陶瓷纖維棉，而且還增加了反光鋁箔和鋁制空氣夾層，以減少內室的熱傳導。
過程控制：
多段式程序控制，完全滿足現場各種工藝需求；
與配套AUTORECIPE軟件，實時溫度監控軟件，可實現產品烘箱運行參數管理與生產運行記錄、烘箱操作日志等，提高生產效率、控制產品品質。
設備特點：
可以提供各種標準和非標準腔體設計，包括溫度范圍，容量大小和烘箱形狀等；
溫度均勻度依照GBT30435-2013；
設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準
提供高性價比的烤箱性能，溫度均勻性、溫度穩定性、溫升速率、溫度恢復時間等工藝條件；
滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口，工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控；
提供相應的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測；
配套完成的產品使用手冊及說明。
型號 | MF-HO**** |
1500 | 2500 | 2600 | 2700 |
循環系統 | 熱風循環系統 |
性能參數 | 溫度范圍 | RT. + 25°C ~500°C |
溫度波動范圍 | （200-300℃）<±5℃（300-400℃）<±8℃ |
溫度均勻性 | （200-300℃）<5℃（300-400℃）<8℃ |
升溫時間 | < 40Min（300℃）& < 60Min（400℃） |
烘箱結構 | 烘箱外腔體選材 | 烤漆板、不銹鋼 |
烘箱內腔體選材 | SUS304 |
保溫材料 | 高密度陶瓷纖維棉 |
加熱 | 無塵加熱絲或不銹鋼加熱管 |
冷卻方式 | 水冷、風冷、多段式冷卻 |
內腔尺寸W *H *D （mm） | 500 *640* 500 | 500 *640 * 560 | 640*640 * 560 | 700 *640* 560 |
外形尺寸W * H *D （mm） | 1190 * 900 * 1000 | 1300* 1050 * 1890 | 1300 * 1050 * 1900 | 1460 *1050 * 1900 |
容積 (L) | 160 | 320 | 450 | 490 |
使用環境 | 溫度范圍: 小于 + 45°C 濕度范圍: 小于 75%rh |
動力配置 | 電源配置 | AC380V3PH | AC380V3PH | AC380V3PH | AC380V3PH |
烘箱功率 | 10KVA | 20KVA | 20KVA | 20KVA |
基本功能配置：
漏電保護器；
電磁門鎖；
加熱保險絲；
電源缺相保護；
超溫保護器；
低溫保護器；
加熱器防干燒保護；
馬達轉速檢測保護；
N2壓力檢測；
功能選配：
N2流量檢測；
高低溫聯動檢測；
自動排風閥；
廢氣沉淀回收裝置；
